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高纯电子特气纯化干燥分子筛
一、各型号分子筛适用场景（电子级高纯专用）
1. 电子级低钠 3A 分子筛（纯氟特气、高纯惰性气首选）
孔径 3Å，仅吸附 H₂O（2.8Å），不吸附全氟烷、HFE、PFPE、CF₄、C₂F₆等大分子氟特气，无介质损耗、不分解氟化物。
适用工况
- 含氟电子特气（六氟乙烷、八氟环丁烷、氟化氮、蚀刻混合气）深度脱水；
- H₂/Ar/N₂纯保护气前置干燥，后端搭配 Pd90Pt10 脱氧；
- 禁止吸附 CO₂、碳氢、醇类杂质的高纯气体系。
电子级要求
超低可溶 Na⁺＜8ppm，低粉尘、高抗压，无金属离子析出污染晶圆。
形态：条形 Φ1.8–3.0mm（主流）/ 球形 1.6–2.5mm；严禁粉末。
2. 低钠 4A 分子筛（通用高纯气、脱微量醇 / 微量 CO₂）
孔径 4Å，吸水容量＞3A，可同步吸附水、微量甲醇、乙醇、低浓度 CO₂，稳定露点≤-70℃。
适用工况
- 普通高纯 N₂、Ar、He、仪表载气综合干燥；
- 混合气含微量醇助剂、微量 CO 杂质；
- 锂电产线氮气、手套箱循环气干燥。
短板
通入高浓度全氟大分子特气时，会极微量吸附短链氟烃，纯氟特气不做主干燥。
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